洁净室等级标准
洁净室等级标准和国际标准ISO14644一样,都是根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试：
空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试；静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试；动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试，洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
二、空态、静态测试
检测前，应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2--3厘米处，可以2～4厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。
测试内容：总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;洁净室压力值;层流洁净室断面风速和气流流向;洁净工作区的洁净度;室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;洁净室内噪声。
洁净工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。
三、动态测试。在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行，测试方法同空态、静态测试。
等级标准对照表
|
空气洁净度等级
|
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m)
|
|||||
|
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1um
|
5um
|
|
|
1
|
10
|
2
|
|
|
|
|
|
2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
|
|
|
3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
|
|
5（百级）
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
|
6（千级）
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
|
7（万级）
|
|
|
|
352000
|
83200
|
2930
|
|
8（十万级）
|
|
|
|
3520000
|
832000
|
29300
|
|
9（一百万级）
|
|
|
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
目录
相关产品
