RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。
特点优势
技术参数
光源镭射二极管(波长:780nm,额定输出:5mW)
镭射材料 人造石英PFA Perfluoro
流量 25ml/分钟
粒径范围(8通道) ≥2µm,≥3µm,≥5µm,≥7µm,≥10µm,≥25µm,≥50µm,≥100µm标配
可选通道 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:2~100µm
粒子数量 10000颗/ml
电源 DC12V(由KE-40B1供应)
尺寸.重量 125×240×150mm,大约:3kg
应用范围
荣耀资质
合作客户
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