电子行业无尘房尘埃粒子检测标准
发布时间：2019-05-27 浏览次数： 次 参与评论
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电子行业无尘房尘埃粒子检测标准ISO为全球各国标准化团体（ISO 会员团体）的联合会。其国际标准工作一般是由ISO各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣，均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织，无论是政府的还是非政府的组织，同样可参加此项工作。ISO与国际电气技术委员会（IEC）在电气技术标准化方面进行紧密合作。
国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。草案作为国际标准颁布至少需要75%的会员团体投赞成票。
国际标准ISO 14644-1由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。
第1部分：空气洁净度等级划分
第2部分：为认证与ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求
第3部分：计量和测试方法
第4部分：设计、施工和启动
第5部分：运行
第6部分：术语和定义
第7部分：增强的洁净装置
表1 洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级
| ISO等级序数（N） |
大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值 （pc/m3空气浓度限值按3.2中的公式计算） |
|||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
| ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO Class 3 | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO Class 4 | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 | |
| ISO Class 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | 29 |
| ISO Class 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
| ISO Class 7 | 352 000 | 83 200 | 2 930 | |||
| ISO Class 8 | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 | |||
| ISO Class 9 | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 | |||
| 注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。 | ||||||
文章来源未知
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