电子行业AMC介绍

　　对电子行业特别是半导体及面板行业来说，存在空气中的气态分子污染物(AMC)会引起成品率下降、性能退化及失效。

　　AMC的大小常用埃(Å)为计量单位，1Å=0.1nm。AMC的尺寸一般从10Å到100Å，比粒子小的多，HEPA和ULPA根本无法去除，而常规的粒子计数器等检测仪器也无法检测其的存在。电子行业洁净室中AMC的检测及控制成为污染控制的棘手问题。

　　AMC包括空气中的多种有害气体和金属离子，在国际半导体设备与材料协会(SEMI)SEMI F21-1102标准中，根据AMC的化学性质及对生产工艺的危害，对气态分子污染物分为4类：

　　分子酸(MA)：能够接受电子(受主)的化学腐蚀性气相物质，如主要来自生产工艺的氢氟酸(HF)，盐酸(HCl)、硫酸(H2SO4)和硝酸(HNO3)，主要来自室外大气中的二氧化硫(SO2)、氮氧化物(NOX)和硫化氢(H2S)等;

　　分子碱(MB)：能够施于电子(施主)的化学腐蚀性气相物质，如氨(NH3)、胺(来自交换树旨的三甲胺、来自加湿系统的吗啉，存在于光刻胶去膜剂中的胺)以及氨基化合物(如N-甲基吡咯烷酮(NMP))等，主要来源是工艺用化学药品，以及室外空气。

　　可凝结物质(MC)：沸点一般高于150℃，常温常压下能够在干净表面凝结的气相物质，如硅烷、BHT、大分子碳氢化合物等，主要来自油漆、环氧及玻璃钢等建材在施工时释放等。

　　掺杂物(MD)：能够改变半导体材料导电性的化学物质，如硼、磷、砷等，主要来自洁净室内高效过滤器材料释放等。

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