国家层面：
2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准半导体器件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为100mg/m3，新建企业为80mg/m3。
2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准电子元件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为80mg/m3，新建企业为50mg/m3。
2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准电子终端产品》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为70mg/m3，新建企业为50mg/m3。
2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准平板显示器、电真空及光电子器件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为100mg/m3，新建企业为80mg/m3。
2015年环保部印发《电子工业污染物排放标准》(征求意见稿)规定非甲烷总烃最高允许排放浓度为100mg/m3，特别排放限值是80mg/m3，没有涉及TVOCs。
2018年环保部印发《电子工业污染物排放标准》(二次征求意见稿)规定非甲烷总烃最高允许排放浓度为100mg/m3，TVOCs是150mg/m3。特排限值分别为50、100。
地方层面：
北京市《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2007)中规定半导体及电子产品制造VOCs的限值现有企业为50mg/m3，新建企业为20mg/m3。
天津市《工业企业挥发性有机化合物排放控制标准》(DB12/524-2014)。规定电子工业VOCs最高允许排放浓度为80mg/m3。
上海市《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2006)。规定VOCs最高允许排放浓度为100mg/m3。
2017年广东省《电子工业挥发性有机物排放标准》(征求意见稿)。规定VOCs最高允许排放浓度为30mg/m3。
2017年广东省《电子设备制造业挥发性有机化合物排放标准》(征求意见稿)。规定VOCs最高允许排放浓度为40mg/m3。
2018年江苏省《半导体行业污染物排放标准》(征求意见稿)。规定非甲烷总烃最高允许排放浓度为60mg/m3。
2018年北京市《电子工业大气污染物排放标准》(征求意见稿)。规定非甲烷总烃最高允许排放浓度为20mg/m3，TVOCs是40mg/m3。
工业VOC废气治理进入二级阶段，电子行业VOC排放标准在新国标和地方标准。地方排放政策制定是在国家标准上进行合理调整。苏州电子企业VOC排放标准中规定，非甲烷总烃最高允许排放浓度为60mg/m3。企业要及时调整最新的排放要求，以免造成环评不达标后果。
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