过滤器是否泄漏，主要是为了避免空气过滤器泄漏而影响到整个的生产。主要是检测各点的悬浮粒子是否超出洁净区要求的范围，如果是则有泄漏现象，需堵漏或更换。这也是比较简单准确的的操作方法。过滤器安装或更换后，必须对过滤器的安装连接处进行检漏，以确保洁净室的洁净度符合要求。

　　尘埃粒子计数器检测过滤器泄漏主要应用的是光散射原理，计数测定时利用光电倍增管接受尘埃粒子反射的光以测定其大小和数量，并加以分析累计及数字显示。实验前要求温度控制在18—26℃ ;相对湿度控制在45—65%。室内测试人员不得多于2人。针对室内不同洁净度房间而言，静压差≥5Pa，洁净区与非洁净区之问静压差≥10Pa;对工艺过程中产尘量大的房间与其他房间应保持相对负压。

        检查尘埃粒子计数器过滤器泄漏流程：

　　1、将尘埃粒子计数器用注射用水及75%酒精擦试消毒后再经紫外线照射30分钟传入洁净区。

　　2、将尘埃粒子计数器水平位置放在桌上。测量塑料管端口接插在过滤器的接嘴上。

　　3、打开电源。仪器进行自检、选项后，把测量塑料管从后面板上拔下。端口放置在需要测量的位置。

　　4、检测时采样头离过滤器2—4cm，沿过滤器内边框及中间缓慢扫描，每块过滤器至少测试出5个点，观察显示数据。

　　测试完毕后，将采样塑料管端口接到尘埃粒子计数器后面板上进行自检。然后关闭电源。用尘埃粒子计数器测定百级洁净区过滤器结果。通过以上测定就可以看出过滤器是否有泄漏现象。是否需进行堵漏或更换，过滤器修理或更换后必须重新进行测试。

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