日本理音RION KL-04光渗透粒子计数器
RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。
特点优势
可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。
技术参数
光源 镭射二极管(波长:780nm,额定输出:3mW)
接触样品的部件材料 取样管：可溶性聚四氟，传感器部分：人造石英，可溶性聚四氟
取样泵 乙烯（氟橡胶）硼硅酸监玻璃，样品容器：聚甲醛
流量 25ml/分钟（10 ml/分钟为工厂定制）
测量范围 可任意选自1-20个通道
最多粒子数量 100000颗/ml（误差值低于10%）
电源 100V-240V AC,50/60Hz 100VA
尺寸.重量 363(H)×360(W)×236 (D) mm,大约:13kg
应用范围
荣耀资质
合作客户
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