RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和氢氟酸。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线和离线测试。
特点优势
技术参数
光源镭射二极管(波长:780nm,额定输出:5mW)
镭射材料 人造石英PFA PTFE
流量10ml/分钟
粒径范围(7通道) ≥0.5µm,≥1µm,≥2µm,≥3µm,≥5µm,≥10µm,≥20µm,标配
可选通道 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.5~20µm
粒子数量 1200颗/ml
电源 DC12V(由KE-40B1供应)
尺寸.重量 125×240×151mm,大约:3.2kg
应用范围
荣耀资质
合作客户
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