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日本理音RIONKL-30AX
品牌:美国TSI
型号:RION KL-30AX
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代理级别:金牌代理
别称:日本理音RION,液体粒子计数器
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RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和氢氟酸。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线和离线测试。
 

特点优势
粒径范围(4通道) ≥0.04µm,≥0.08µm,≥0.1µm,≥0.15µm标配
 
可选通道 2-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.04~0.15µm
 
粒子数量 15000颗/ml,误差值低于10%
技术参数
光源 激光二极管泵/固态晶振镭射(波长:532nm,额定输出:500mW)
 
与样品接触部分材料 人造石英,碳氟橡胶、氟塑胶、PMC
 
外部材质 SUS304/316、有机玻璃、POM
 
流量 20ml/分钟,清洗流量0.1-1l/分钟
 
粒径范围(4通道) ≥0.04µm,≥0.08µm,≥0.1µm,≥0.15µm标配
 
可选通道 2-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.04~0.15µm
 
粒子数量 15000颗/ml,误差值低于10%
 
电源 100V-240V AC,50/60Hz 130VA
 
尺寸.重量 203×385×570mm(突出部分除外)大约24.8kg
应用范围
荣耀资质

合作客户

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