AMC检测技术探讨-亿天净化

AMC检测技术探讨

发布时间：2019-06-14 浏览次数：次参与评论

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电子行业对AMC气体进行监测，不但可以了解AMC对工艺产品的影响，还可对化学过滤器进行评估（效率、使用寿命预测等）。但关于AMC的检测技术多种多样，如何选用AMC检测技术？各类检测技术有什么优缺点及区别？我们将在后续的文章中进行说明。

一、检测方法选择原则

在选用检测方法时，需综合考虑以下几方面测试特性：灵敏度（ppb级或ppt级）、精度、抗干扰性、成本和复杂性等。洁净室中AMC浓度一般较低，多在ppb级（10^-9）甚至ppt级（10^-12），因此灵敏度是半导体厂家首先考虑的参数。

二、AMC测试技术分类

对于AMC测试技术，可以简单分为：直接测试技术、采样分析技术和间接测试技术。

1、直接测试技术
采用自动监测设备对特定的AMC进行实时监测，可以给出瞬间的被测AMC的变化，近年来受到人们的青睐。目前，在洁净室中，SO₂、H₂S、NO_X和NH₃是主要的在线测试气体，常见检测原理有化学发光、紫外荧光、光离子化检测器、离子迁移谱，以及电化学传感器。

2、采样分析技术
采样分析技术主要是在现场采样，然后在实验室中分析的一种测试方法。

3、间接测试技术
间接测试技术又分为表面分析技术和压电晶体传感器法。
在后续的文章中，我们将具体就化学发光法、紫外荧光法、光离子化检测器法、离子迁移谱法、电化学传感器法及采样分析技术、间接测试技术的测试原理作进一步的介绍。

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