AMC检测技术（五）-亿天净化

AMC检测技术（五）

发布时间：2019-07-09 浏览次数：次参与评论

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　　采样分析技术

　　采样分析技术主要是在现场采样，然后在实验室中分析的一种测试方法。常用的采样分析方法见下表。不同的采样分析具有各自的优缺点，在实际应用中，根据实际条件和需要，选择合适的采样测试手段。如采用不锈钢筒采样，用气相色谱/质谱GC/MS分析挥发性有机气体;采用溶液吸收采样，则用离子色谱(IC)和电感耦合等离子体质谱(ICP/MS)组合分析方法分析无机成分。

　　采样分析技术由于其主要在实验室操作进行，周期性较长，时效性滞后，且前期设备投入大，但在AMC测试种类分析上更丰富及准确，也是目前广泛应用于半导体行业的测试方法。

　　结束语

　　在电子行业，气态分子污染物(AMC)对生产过程质量的影响越来越大，监测和控制AMC是一项极具挑战的复杂工作。

　　离子色谱法(IC)、气相色谱质谱法(GC/MS)、电感耦合等离子体质谱(ICP/MS)等测试方法可以全面分析AMC的种类和浓度;在线监测线统可以即时、长期监测特定气体的浓度变化;AES/XPS/SIMS等表面分析技术在监测环境等级时，更能反映AMC的影响程度。在选用监测方法时，需综合考虑灵敏度、精度、抗干扰性、成本和复杂性等特性。

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